光学顕微鏡：JOMESA HFD

• フィルターやパーティクルトラップを短時間でスキャン

• 粒子サイズやポジションを分析

• 金属、非金属、繊維の選別

• SEM-EDXで直ちに分析したい粒子をマーキング

• データベースに結果を保存

SEM-EDX：JOMESA PSE

• データベースから粒子の情報を読み込む

• HFDでマークされた粒子をSEM-EDXで直ちに分析

• オプション：フルスキャンもしくはHFDで検出した全粒子をスキャン

• データベースに結果を保存

JOMESA PSEのモニター：光学画像とSEM画像を同時に表示

EDX解析エリアの選択